製品案内

PRODUCTS

ODS-20 オプティカルディスプレイスメントシステム

超音波ユニット・超音波検査装置

ODS-20 オプティカルディスプレイスメントシステム


画像キャピラリーやウエッジなどの超音波振動/振幅を特殊な光電子振動センサーを使用して高精度に測定します。
可視レーザーにより微細な振幅測定にも対応しサブミクロン単位の数値まで表示されます。 オシロスコープ、TTS-030、インターフェイスによりボンディングの品質を管理することができ
データをPC上で制御できます。
レーザードップラーと比較しても簡易的に使用できるだけでなく安価に入手できワイヤーボンダーを使用される技術者には必要不可欠な製品です。

装置仕様

仕様

測定内容 ボンディングツールのメカニカル振幅量測定
ボンディングツールの周波数測定
荷重測定(オプション)
測定レンジ 3種類のレンジから選択可能
レンジ1 : 0.1~2μm @ 30~250kHz
レンジ2 : 0.1~8μm @ 30~200kHz
レンジ3 : 0.1~20μm @ 30~150kHz
測定精度 レンジ1 : ±0.05μm
レンジ2 : ±0.1μm
レンジ3 : ±0.2μm
測定分解能 レンジ1/2 : 0.001μm
レンジ3 : 0.01μm
周波数測定レンジ 30~250kHz
レーザークラス ClassⅡ(目に安全)
電源タイプ プラグイン電源
入力電圧 100-240VAC, 50/60Hz
出力電圧 15VDC
出力電流 最大1.0A
レーザーセンサー寸法/重量 64mm(W) X 21mm(H) X 15mm(D), 約40g
本体 155mm(W) X 90mm(H) X 204mm(D), 約1100g
電源 40mm(W) X 50mm(H) X 70mm(D), 約150g

特徴

■ 超音波ワイヤー/ダイボンダーのウエッジ/ツールの振幅量(μm)を検知

■ 可視赤色レーザー使用し、無反射方式、ツールの表面形状 に透過させて測定

■ 測定結果はLCDディスプレイにデジタルで表示

■ オシロスコープを使用することにより振幅の波形も観察可能

■ レーザードップラーより安価であり短時間で設置可能

■ ウェッジ、コレット、キャピラリにも使用可能

■ 専用ソフトウェア(オプション)を使用する事により測定結果を供給、管理が可能

■ TTS-030と合わせて使用する事により超音波システム(超音波発振器、トランデューサ、ボンディングツール先端の機械的振幅)すべてのチェックが可能

■ すべてのメーカのワイヤーボンダーに使用する事が可能

■ 複数マシンの超音波コンディション均一化に貢献

■ トランスデューサ、ボンディングツールの受入れ検査用機器として使用可能

■ トランスデューサやボンディングツールの固定位置、締付けトルクの重要性を説明する為のトレーニングツールとして使用可能

ボンディングツール先端の振幅を機械的に測定


作業者やエンジニアに対してのトレーニングツールとして使用