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セミオートワイヤーボンダー MODEL58 シリーズ
セミオート・マニュアルワイヤーボンダー
ハイスピードセミオートワイヤーボンダー MODEL58 シリーズ
研究開発からプロダクションまであらゆるシーンに対応し従来のオート機よりも低コストで~中量までの生産を行う事が可能です。
56iシリーズと同様ヘッド交換は2~3分程度で行え、1台のベースマシンでも、ヘッドの交換を行う事で、金線ボールボンディング、細線ウェッジボンディング、太線ウェッジボンディング、各種リボンボンディングに対応出来るユニバーサルスタイルの次世代ワイヤーボンダーです。
BIGGER / FASTER / SMARTER
より大きく、早くそしてスマートに
ユーザーフレンドリーなソフトウェア
多彩かつ簡単なプログラム及び条件設定が可能
高い生産性
1ワイヤー/1秒を誇る生産能力の高い卓上装置
高い互換性
56iシリーズと同じボンドヘッド及びソフトウェアを使用している為、作成したプログラムは相互で使用可能
多彩な機能
約3~5分で簡単にヘッド交換が出来る為、多種ワイヤーのボンディングへ容易に仕様変更可能。
ユーザーフレンドリーなソフトウェア
直感的でわかりやすいスクリーンレイアウト
②ツールバー
③CCDカメライメージ
④現在 ロードしているプログラムのレイアウトイメージ
⑤現在 ソフトウェア上で行われているプロセス表示
⑥ステイタスインフォメーション
⑦DLC - Deformation Limit Control(オプション):つぶれ量モニタリング機能
容易な各種条件設定
・ボンディング荷重や超音波パワーをボンディングプロセス中に変化させる事が可能。
また、上記設定を視覚的にも確認可能。
・バンプモード及びセーフバンプ(5610)、S字ボンド(5630/5632/5650)への切換えがチェックボックスON/OFFのみで可能。
・1ワイヤー毎に異なる設定をする事が可能
・設定項目の組合せにより多彩なループ形状を作成する事が可能
・設定項目の組合せにより様々な状態でのワイヤーカットが可能
・カメラ画像で位置を見ながらコピー/ペーストが出来る為位置ずれの心配なし
広いワークエリア
装置は…
Y方向 → 150mm
Z方向 → 100mm
θ方向 → 360°
稼働する為様々なサイズのデバイスや段差のあるボンディングに対しても容易に対応可能
また、ワークエリアのスペースが広い為対象物の設置もストレスなく行える
多彩なオプション機能
DLC(ディフォメーションリミットコントロール)機能
※ボンディング変形量モニタリング機能
・ボンド時間に対するワイヤー変形のプロセスをグラフ上で視覚的に確認可能
・1st/2ndボンド共に上限、下限のしきい値を設ける事ができ、その範囲を超えたボンディングが発生した場合には装置稼働が停止し不良品発生を阻止
・DLCの結果は1ボンド毎CSV形式で保存され、その保存したデータはお手持ちのPCで確認が可能
PRU(自動パターン認識)機能
・ライトソースやライトカラー、認識サイズ、認識ポイント等多彩に設定を組合わせる事が出来る為様々なポイントでの認識取りが可能
様々なライトソース
・LEDリングライト
等、対象のデバイスに応じオプションライトを搭載する事で自動認識時の良好なパターン認識プロセスをサポートします。
デジタル超音波発振器
・出力レベルもソフトウェア上で容易にデジタル調整が可能
・ボンディング時の出力電圧、電流、共振周波数、インピーダンス、電力、位相結果を即座に表示
・ボンディング中の電圧、電流のプロセスをグラフで表示可能
ワークホルダー
・弊社では今までボンダー対応で培った経験からマニュアル機用から自動機用ステージまでありとあらゆるサイズのステージが制作可能です
・ワークステージ単体での販売も行っている為、ステージ設計、制作等でお困りの際はいつでもご相談ください。
信頼性の高いボンディング
Zリニア稼働
ボンディング時 ボンディングツールはリニアに稼働する為、ツール片当たりは 発生しません
XYZ軸モーター駆動による 安定した ボンディング、ループ作成
また、稼働域が大きい為 高さの異なるボンディング対象物への対応も容易に行えます。
デュアル クランプシステム(MODEL5832 ディープアクセスボンディング)
ウェッジの後ろでワイヤー たるみが発生する可能性大
→ボンディングテール長および ループ形状の不安定さの要因となる!
右 : ウェッジクランパによりルーピング時のテール戻り等を防止!
→安定テール長、ループ形成が可能
コンセプト | 56iシリーズより生産性に特化したマシン 1台で様々な種類のボンディングに対応した万能型ボンダー |
---|---|
ディスプレイ | LCDカラーディスプレイ22” |
分解能 |
1μm |
ボンドスピード |
1ワイヤー / 1秒 |
OS | Windows10 |
ワークエリア |
・ボンドヘッドZ軸可動範囲:100mm ・ステージX/Y軸可動範囲:200×150mm |
対応サイズ |
標準 : 最大100×100mmまでのフラット基板,メカニカル/バキューム固定 オプション : 様々な形状のサンプルに対応可 |
ループタイプ |
プログラム可・スタンダード四角形、リバース、スティッチ・ボンディング |
コントロールモード |
SingleWireモード / Multiwireモード / Stepモード |
カメラ |
ボンディング/テストポジション設定用 CCDカラーカメラ,クロスライン付 GigE-CMOS-Color camera,5Mpixel |
対応サイズ |
標準 : 最大100×100mmまでのフラット基板,メカニカル/バキューム固定 オプション : 様々な形状のサンプルに対応可 |
顕微鏡 |
標準 : オリンパス SZ51 / オプション : Leica S6及びその他選択可 |
照明 |
標準 : LEDスポット照明 |
寸法 |
高さ650mm x 幅920mm x 縦710mm 約120kg |
電源 |
100-240V,単相,50/60Hz,最大500VA |
プログラム保存 |
インターナルハードディスク内,外部メモリをUSB接続する事でプログラムのアウトプット可能 |
接続 |
エアー / バキュームΦ6mmチューブ |
MODEL53/56/58シリーズ仕様比較表
表題 | |||
---|---|---|---|
ボンダー | 53XX | 56XXi | 58XX |
タイプ | Manual/semi-automatic | automatic | automatic |
ヘッド交換 | ✕ |
◯ | ◯ |
ウェッジ‐ウェッジ |
17-75μm |
17-75μm |
17-75μm |
ボール‐ウェッジ |
17-50μm | 17-50μm | 17-50μm |
ディープアクセス |
17-75μm |
17-75μm |
17-75μm |
細線 |
17-75μm |
17-75μm |
17-75μm |
リボン線最大(厚み×幅) | 25×250μm |
25×250μm |
25×250μm |
太線 |
100-500μm |
100-500μm |
100-500μm |
ヘビーリボン線 最大(厚み×幅) |
300×2000μm |
300×2000μm |
300×2000μm |
プルテスター |
◯ | ◯ | ✕ |
シェアテスター |
✕ | ◯ | ✕ |
モータ稼働軸 |
Y&Z |
X,Y,Z&P |
X,Y,Z&P |
プログラム可能なループフォーム |
◯ | ◯ | ◯ |
超音波発振器 |
analog |
analog/digital |
digital |
ピック&プレース オプション |
◯ | ✕ | ✕ |
銅ボンディング |
◯ | ◯ | ◯ |
カメラ標準装備 |
✕ | ◯ | ◯ |
PRU |
✕ | ◯ | ◯ |
プロセスコントロール |
✕ | ◯ | ◯ |
ワークエリア |
Manual XY |
Motorized 4x4” / 100x100mm |
Motorized 8x6” / 200x150mm |
パフォーマンス |
manual |
3sec. / wire |
<1sec. / wire |
MODEL5810 金線ボールボンダー
ワイヤーサイズ:18~50μm
ボンディグツール:11.1㎜,16㎜(標準)19㎜(オプション)
ボンドフォース:10~250g プログラマブル
超音波振動子周数:60k(標準)
カットプロセス:テーブルティア
ワイヤースプール:2“スプール(標準)
-----------
●その他機能・特徴
-設定によりバンプボンドやスティッチオンバンプへの切り替え可能
-プログラマブルボールサイズコントロール
MODEL5830 スタンダードフィード細線ウェッジボンダー
ワイヤーサイズ:18~75μm
ボンディグツール:25.4㎜
ボンドフォース:10~250g プログラマブル
超音波振動子周数:60kHzor 100kHz
カットプロセス:クランプティア
ワイヤースプール:2“スプール(標準)
-----------
●その他機能・特徴
-45°ワイヤーフィード・60°フィードも可
-別タイプクランパの搭載により45°~60°
フィードリボンボンディグも可能(~250μm幅まで対応)
MODEL5832 DA 細線・
リボン線ディープアクセス ウェッジボンダー
ワイヤーサイズ:18~50μm
ボンディグツール:19.1㎜ or 25.4㎜
ボンドフォース:10~250g プログラマブル
超音波振動子周数:60kHz or 100kHz
カットプロセス:テーブルティア
ワイヤースプール:2“スプール(標準)
-----------
●その他機能
-ダブルクランプシステムによる高いループコントロール性
MODEL5850 太線ウェッジボンダー
ワイヤーサイズ:100~500μm
ボンディグツール:50㎜(標準)
ボンドフォース:100~1800g プログラマブル
超音波振動子周数:60kHz(標準)
カットプロセス:フロントカッターorバックカッター
ワイヤースプール:3 or 4 “スプール
-----------
●その他機能
-プログラマブルカットハイト
-スナップオンワイヤーガイドにより、簡単かつ繰り返し取付け
位置精度の高いガイド。交換が可能
MODEL5850 HR 太線リボンボンダー
ワイヤーサイズ:~2000μm(幅)
ボンディグツール:50㎜(標準)
ボンドフォース:~4500g
超音波振動子周数:60kHz(標準)
カットプロセス:フロントカッター
ワイヤースプール:3 or 4“スプール
-----------
●その他機能
-プログラマブルカットハイト
-スナップオンワイヤーガイドにより、簡単かつ繰り返し取付け位置精度の高いガイド。交換が可能
58シリーズ ボンドヘッド仕様比較表
ヘッド | 5810 |
5830 |
5832 | 5850 |
5850HR |
---|---|---|---|---|---|
ボンド荷重 | 5-500cN | 5-500cN | 5-500cN | 100-1800cN | 100-1800cN |
ワイヤークランプ | ◯ | ◯ | ◯ | ✕ | ◯ |
フィード角 | 90° | 90° | 45°/60° | 90° | 90° |
ワイヤーカット方式 | table | table/clamp | table/clamp | cut | table/clamp |
モータ稼働軸 | Z | Y&Z |
Y&Z |
Y&Z |
Y&Z |
アナログ/デジタル | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ |
超音波発振器/kHz |
67/140 |
67/100/140 |
67/100/140 |
58/120 |
58/120 |
超音波出力 |
5Watt |
5Watt | 5Watt | 30Watt | 30Watt |
ボールボンディング | ◯ | ✕ |
✕ |
✕ |
✕ |
ウェッジ-ウェッジ | ✕ |
◯ | ◯ | ◯ | ◯ |
ディープアクセス | ◯ | ✕ |
◯ | ✕ |
✕ |
細線 | ◯ | ◯ | ◯ | ✕ | ✕ |
リボン線 | ✕ | ✕ | ◯ | ✕ | ✕ |
太線 | ✕ | ✕ | ✕ | ◯ | ◯ |
ヘビーリボン線 | ✕ | ✕ | ✕ | ✕ | ◯ |
対応ワイヤーサイズ | 17-50μm | 17-75μm | 17-50μmMax.(リボン) 25×250μm |
100-500μm | 100-500μm Max.(リボン) 300×2000μm |
アルミ | ✕ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ |
金 | ◯ | ◯ | ◯ | ✕ | ✕ |
銅 | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ |