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| MODEL5650セミオートマティックワイヤー太線ウエッジボンダーは、マニュアル/セミオートタイプのMODEL5450とオートマティックマシンの中間に位置する装置です。全てPCでコントロールされ、複数のワイヤーボンドのプログラムが可能です。CCDカメラのクロスヘアーでチップや基板の位置をティーチングした後、自動で複数のワイヤーボンディングを行います。シングルボンドモード:さまざまなボンディングサンプルの修正もしくは1本のワイヤーのボンディングを行う。（マニュアルオートマティック動作）。マルチワイヤーモード:複数のデバイス、チップに複数のワイヤーボンドを行うことが可能。(セミオート、フルオート動作)、簡単なボンドヘッドの交換とそれに適したソフトウェアを立ち上げることにより、ボールーウェッジもしくは太線ウェッジボンダー、プル/シェアテスターとしても使用可能なフレキシブルな設備です。機能交換に要する時間は、約5分程です。 |
| X、Y テーブル |
ワークエリア 100 x 100
mm
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| 分解能 |
0.25 μm
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| 繰り返し精度 |
2 μm以上 |
| Z軸 |
60 mm
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| スピード
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全方向 0.2...16 mm/sの間でプログラム可能
≦30 ワイヤー / 分
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ボンドヘッド |
太線ウエッジ ウェッジ−ウェッジワイヤー対応±360°
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| ロータリーヘッド |
90°クイックチェンジワイヤーガイド、
カッター100cＮ-1000cＮプログラマブルボンド荷重 |
| 超音波システム |
40 KHzスタンダード
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| ワイヤーサイズ |
125 〜 500 μm
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| ヒーター |
マシンに搭載 0-250°C |
| コンピューター |
シングルボード
PC, 600 MHz Pentium processor, 256 MB RAM, ethernet, USB
4x, CD-ROM
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| モニター |
15”
TFT フラットスクリーン |
| 15” TFT フラットスクリーン |
Windows
2000 |
| プリンター |
Windowsで使用できる全てのプリンターは使用可能。
ボンディングパラメーターをプリント可能。
加熱式ワークホルダー :O 60mm、O 80mm and 4x4“
(オプション) |
| カメラ |
ボンディングポジション設定用
クロスライン付
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| 顕微鏡 |
オリンパス SZ51 スタンダード
Leica S6 その他
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| メーカー顕微鏡 |
オプション |
| 照明 |
20 W ハロゲンスポットライト
及び LED ダイレクトライト |
| 外形寸法 |
高さ 70 cm, 幅 70 cm,
奥行65 cm; 重量 約 70 kg |
電源 |
100...240 VAC, 単相,
50/60 Hz, 最大. 500 VA |
コネクション |
エアー 6 bar; バキューム0,7
bar |
PRU（自動画像認識ユニット) |
オプション |
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