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ODS
10 の特長 |
■ 超音波ワイヤー/ダイボンダーのウエッジ/ツールの
振幅量（μm）を検知
■ 可視赤色レーザー使用し、無反射方式、ツールの
表面形状 に透過させて測定
■ 測定結果はLCDディスプレイにデジタルで表示される。
■ オシロスコープを使用することにより振幅の波形も観察
できる。
■ レーザードップラーより安価、設置は短時間でできる。
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| キャピラリーやウエッジなどの超音波振動／振幅を特殊な光電子振動センサーを使用して高精度に測定します。可視レーザーにより、微細な振幅測定にも対応しサブミクロン単位の数値まで表示されます。
オシロスコープ、ＴＴＳ030、インターフェイスによりボンディングの品質を管理することができ、データーをPC上で制御できます。レーザードップラーと比較しても、簡易的に使用できるだけでなく安価に入手でき、ワイヤーボンダーを使用される技術者には必要不可欠な製品です。 |
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| 使用目的 |
ボンディングツールの振幅量評価用
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| 測定内容 |
機械的な振幅量測定（Peak
to Peak） |
| 測定レンジ |
2 レンジ
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| レンジ 1
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0 - 10μm |
| レンジ 2 |
0 - 2μm |
| 測定精度 |
レンジ 1 ： ±0.01μm
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レンジ 2 ： ±0.001μm
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| 測定周波数レンジ |
20 - 150kHz |
| 電源タイプ |
プラグイン電源
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| 入力電圧 |
100
. 240VAC 50/60Hz |
| 出力電圧 |
12VDC
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| 使用電力 |
Max 2.0A |
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設備寸法
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| レーザーセンサー |
64.0mm(W) × 21.0mm(H)
× 15.0mm(D) （40g） |
| 本体 |
155.0mm(W) × 90.0mm(H)
× 204.0mm(D)（1100g） |
| パワーサプライ
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60.0mm(W) × 95.0mm(H)
× 100.0mm(D) （400g） |
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